高纯CO₂告急，三星库存不足1个月？

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据韩国媒体报道，由于炼油及石化工厂开工率大幅下降，高纯度二氧化碳（CO₂）的供应正趋于紧张。这种主要用于先进制程芯片超临界清洗工艺的气体，其库存水平已跌破安全线，引发了业界对半导体生产中断的担忧。

三星月耗2000吨，库存跌破一个月

高纯度CO₂指的是纯度≥99.99%的产品，高端电子级主流为5N（99.999%）乃至6N（99.9999%），对各类杂质控制极为严格。

随着芯片制程持续推进，线路间距极窄、结构高低落差极大，传统清洗液因表面张力问题无法进入这些微小的空间。而高纯度CO₂在特定的温度和压力下会进入“超临界状态”，同时具备液体的高溶解性和气体的高渗透性，能无损伤地深入纳米级沟槽内部清除杂质，成为先进制程中关键的清洗介质。此外，MEMS、TSV、先进封装、3D NAND制程也需要用到。

行业消息人士透露，此次韩国高纯度CO₂主要依赖石化、炼油等产业副产品CO₂作为原料。近期，受中东地缘政治冲突导致原油供应不确定性增加的影响，韩国国内石化企业的开工率显著下滑，直接造成作为副产品的CO₂原料供应锐减。

一位半导体材料专家表示：“最新的高纯度CO₂短缺，凸显了半导体材料供应链与炼油和石化行业副产品之间有多么深层的关联。”

因此，在AI芯片、高带宽存储器（HBM）等先进产品扩产节奏加快的背景下，需求端只增不减，而随着供给端遭遇瓶颈，供需缺口正迅速拉大。

通常情况下，半导体制造商与气体供应商会各自储备约两周的用量，合计维持一个月的库存缓冲。但据业内人士透露，近期总库存已跌破一个月的水平。

作为全球存储芯片的两大巨头，韩国三星电子和SK海力士是此次供应紧张中最受关注的对象。据The Elec报道，三星电子每月的高纯度CO₂消耗量约为1800至2000吨，而SK海力士的月均用量也达到600至700吨。虽然两家公司的生产尚未受到直接影响，但持续萎缩的库存余量正迫使他们全力加紧采购。

“由于缺乏原料，我们无法按需供应产品。目前从物理条件来看，短期内根本没有办法扩大产量。”一位工业气体行业人士的坦言，点出了当前困局的根源。

价格已涨20%，国产替代加速

据估计，液态CO₂的价格较年初已上涨约20%。行业普遍预计，这种供应紧张的局面很可能将持续到今年年底。

目前，高纯度CO₂市场主要由德国林德、法国液化空气、美国空气产品等国际巨头以及韩国本土企业主导。

其中，韩国本土的主要高纯度CO₂供应商包括Taekyung Chemical、Seondo Chemical、Dongkwang Chemical和SK Airplus等。值得注意的是，这已是近期因地缘政治风险而波及的又一种半导体材料。此前的供应链扰动已涉及氦气、无水氟化氢和PGMEA等关键材料。

在供应紧张的背景下，中国国内气体企业也正在加速突围。据行业媒体梳理，金宏气体的超纯氨、高纯氧化亚氮、高纯CO₂等产品已成功供应众多头部半导体企业；凯美特气的主要产品涵盖高纯CO₂；至纯科技则为12英寸28nm及以下集成电路客户提供包括高纯CO₂在内的大宗气体供应系统服务。此外，华特气体等本土厂商也纷纷加快高纯CO₂的产能布局与客户认证进程。

从短期看，供应偏紧的格局难以快速逆转。从中长期而言，随着国内产能的释放，有望逐步缓解压力。这次短缺再次证明，在半导体这个高度全球化的产业链上，任何一个看似不起眼的环节波动，都可能牵动整个先进制程的神经。

编辑：芯智讯-浪客剑